Felületfizikai kutatások

Gyémántréteg növesztés

Felületfizika laboratóriumunkban a kilencvenes évek közepétől foglalkozunk gyémánt fázisú vékonyrétegek CVD-vel (Kémia Gőzfázisú Leválasztás) történő szintetizálásának alap- és alkalmazott kutatási területeivel, mely munkánk során az alapkutatási területet illetően egyedülálló in-situ kísérleteket végeztünk a nukleáció és növekedés fázisának felderítésében, valamint a mikro-nano-ultrananokristályos gyémántfázisok kialakulásának vizsgálatában. Az alkalmazott kutatási területeket illetően számos MEMS-, szenzorikai-, ill. 3D bevonatolási alkalmazást jártunk körül: szelektív területi leválasztás, passziváló bevonat nyomásmérő és áramlásmérő mikro gázszenzorokon, mikroturbina struktúra gyémántbevonata, SRP-tűk passzív és aktív gyémántbevonata, nagyméretű 3D-s tárgy (bondoló-tű) gyémántréteggel történő bevonása.                                                            Mikrohullámú CVD-berendezés                               Passziváló gyémántbevonat SRP tűkön                                  Litografált nanogyémánt bevonat mikro fűtőtesteken (MEMS)                                                       Öntartó gyémánthidak MEMS eszközben                              Ultrananokristályos gyémánt bevonat mikroturbina házon (MEMS)                                      Ultrananokristályos gyémánt bevonat mikroturbina rotorján (MEMS)