Felületfizikai kutatások
Gyémántréteg növesztés

Felületfizika laboratóriumunkban a kilencvenes évek közepétől foglalkozunk gyémánt fázisú vékonyrétegek CVD-vel (Kémia Gőzfázisú Leválasztás) történő szintetizálásának alap- és alkalmazott kutatási területeivel, mely munkánk során az alapkutatási területet illetően egyedülálló in-situ kísérleteket végeztünk a nukleáció és növekedés fázisának felderítésében, valamint a mikro-nano-ultrananokristályos gyémántfázisok kialakulásának vizsgálatában. Az alkalmazott kutatási területeket illetően számos MEMS-, szenzorikai-, ill. 3D bevonatolási alkalmazást jártunk körül: szelektív területi leválasztás, passziváló bevonat nyomásmérő és áramlásmérő mikro gázszenzorokon, mikroturbina struktúra gyémántbevonata, SRP-tűk passzív és aktív gyémántbevonata, nagyméretű 3D-s tárgy (bondoló-tű) gyémántréteggel történő bevonása. Mikrohullámú CVD-berendezés Passziváló gyémántbevonat SRP tűkön Litografált nanogyémánt bevonat mikro fűtőtesteken (MEMS) Öntartó gyémánthidak MEMS eszközben Ultrananokristályos gyémánt bevonat mikroturbina házon (MEMS) Ultrananokristályos gyémánt bevonat mikroturbina rotorján (MEMS)