CVD-technika: Gyémántrétegek szintézise

Gyémánt-fázisú vékonyrétegek CVD-vel (Kémia Gőzfázisú Leválasztás) történő szintetizálásának alap- és alkalmazott kutatási területeivel foglalkozunk: mikro- nano- ultrananokristályos gyémántfázisok kialakulásának vizsgálata; MEMS-, szenzorikai-, ill. 3D bevonatolási alkalmazások, szelektív területi leválasztás, passziváló bevonatok; fotonikai-kvantumoptikai kutatási irány: különböző gyémántstruktúrákban adalékolási technikákkal in-situ módon kialakított aktív színcentrumok szintetizálásának alap- és alkalmazott kutatási területei;

A 2020-as évtől a Wigner FK-val történt együttműködés keretében egy új, kompakt, moduláris felépítésű CVD berendezést építettünk a Szilárdtestfizikai és Optikai Intézet Alkalmazott és Nemlineáris Optikai Osztályán, mely együttműködés keretében a téma kutatása és a berendezés üzemeltetése a továbbiakban a Wigner FK területén , tanszékünkkel együttműködésben történik.

Kapcsolat: Csíkvári Péter (BME): csikvari.peter@ttk.bme.hu, Dr. Himics László (Wigner-FK): himics.laszlo@wigner.hu

cvd1_mod.png

Project_gyemant01_mod.png

Project_gyemant02_mod.png

Project_gyemant04_mod.png

Project_gyemant05_mod.png

Project_gyemant06_mod.png

NVcentrum_mod.png

SiV_mod.png

 

Kutatási terület: 
Anyagtudomány