Technológiák:
- Vékonyréteg készítés vákuumpárologtatással porlasztással és elektronsugaras párlogtatással
- Nagyteljesítményű lézeres vágógép
- Mikrohullámú plazmával működő CVD rendszer
- Anódos oxidáció
- Gyémántcsiszoló berendezés aszférikus optikai eszközök készítésére
- CNC vezérelt precíziós befecskendezéses öntőberendezés
- Elektronsugár litográfia
- Optikai, optikai bevonatkészítő, kristálytechnológiai, mechanikai és elektronikai műhelyek.
Mérőeszközök:
- Felületi-profil felvétele (Talysurf alakpróba és perthométer, optikai profilométer
- Shack-Hartmann hullámfront érzékelő
- Optikai mikroszkópok
- Pásztázó elektronmikroszkóp (SEM
- Szekunder-ion tömegspektrométer (SIMS: érzéknység 0.01-1ppm, laterális felbontás ~ 0.1 micrometer, mélységi felbontás ~ 0.01 micrometer
- Pásztázó Auger mikroszonda (SAM: érzékenység 1 %, laterális ~ 0,5 micrometer
- Röntgen fotoelektronspektroszkóp (XPS; érzékynség 0.1 %, energia felbontás 0.80 eV
- UV-, látható- és közel infravörös spektrofotométer
- Fizeau-interferométer (optikai alak és hullámforma
- C02 (20W, hangolható), Ar ion, He-Ne, Nd-YAG és diódalézerek
- Látható és infravörös érzékelők és érzékelőmátrixok (PSD, CCD
- Elektronikus mérőrendszerek (3 GHz hálózati analizátor, 12 Ghz digitális oszcilloszkóp
- Impedancia spektroszkópia
- Precíziós optikai pozícionálók
- Egymódusú száloptika rendszerek
- Ellipszometria.
- Lézer indukált átütési spektrometria
A Tanszéken kifejlesztett rendszerek:
- Akusztooptikai jelfeldolgozó rendszerek (spektrum analizátorok
- Differenciális abszorpciós LIDAR
- Fotoakusztikus és időfelbontásos fluoreszcens és NIR spektrométerek
- Lézer Doppler anemométer
- Transzmissziós és reflexiós NIR spektrométerek
- Kvadrupól tömegspektrométerek (QMS) leülepedő gázok analíziséhez
- QMS-sel összehangolt DC szenzor mérőműszer
- QMS plazmadiagnosztika ütközésmentes in situ mintavétellel
- Zsilipelő rendszer a leválasztó és az analitikus mérőrendszerek között
- Kvadrupól ioncsapda a részecskék tömegmeghatározása céljából
- Time of Flight spektrométer
- Fotomodulált reflektometria
- Femtoszekundumos lézer
CAD és modellezés (szuperszámítógépeken és PC-ken):
- Optikai tervezéshez és vékonyfilmhez számítógépes programok
- CAD az elektron -és ionoptikához
- Mechanikai CAD rendszer
- Számítógépes programok az atomi szintű kvantummechanikai szimulációhoz
- Mesterséges neurális hálózati modellek
- Programjainkat 6 szuperszámítógép központban, ill. nagyteljesítményű PC-ken (linux, ill Windows alatt) futtattjuk
Használati rend és hozzáférhetőség az Atomfizika Tanszék Felületfizika Laboratóriumához