Tudományos segédmunkatárs
Member
Szoba:
F III. mfszt.
Email:
csikvari.peter (at) ttk.bme.hu
Telefon:
+36 1 463 1589
Oktatás
Laborgyakorlatok tartása anyagtudományi vizsgálati módszerek területén (SIMS, Auger, XPS, CVD) mérnök-fizikus és vegyészmérnök hallgatók számára
Fizika gyakorlat (A2, A3) gépészmérnök hallgatóknak
Elektrodinamika gyakorlat mérnök-fizikus hallgatóknak
Optikai mérések laboratórium vegyész- és környezetmérnök hallgatóknak
egyéb fizika tárgyú gyakorlatok, konzultációk
Kutatás
Vékonyrétegek kémiai gőzfázisú leválasztása(CVD), ezen belül is a különböző fázisú széntartalmú rétegek, különös tekintettel a gyémánt-vékonyrétegek szintézise, kialakulásának ill. alkalmazási lehetőségeinek vizsgálata
Mikrohullámú CVD berendezés üzemeltetése, fejlesztése
Felületanalitikai mérések (SIMS, Auger, XPS)
Kiemelt publikációk
T. Lohner, P. Csíkvári, P. Petrik, G. Hárs
Spectroellipsometric characterization of nanocrystalline diamond layers, Applied Surface Science, No.:281, p.113-117, 2013
T. Lohner, P. Csíkvári, P. Petrik, G. Hárs
Spectroellipsometric characterization of nanocrystalline diamond layers, E-MRS Fall Meeting 2012, Symposium K, Warsaw, Poland, Sept. 17-21, 2012
T. Lohner, N. Q. Khánh, M. Serényi, P. Csíkvári, G. Hárs, A. Pongrácz, P. Petrik
Spectroellipsometric and ion beam analytical investigation of thin films deposited by various methods, JVC-14 / EVC-12 / AMDVG-11 / CroSloVM-19 Confernce, Dubrovnik, Croatia, 4-8 June, 2012
T. Lohner, P. Csíkvári, N.Q. Khánh, S. Dávid, Z.E. Horváth, P. Petrik, G. Hárs
Spectroellipsometric and ion beam analytical investigation of nanocrystalline diamond layers, Thin Solid Films, No.:519, p.2806-2810, 2011
T. Lohner, P. Csíkvári, N.Q. Khánh, S. Dávid, P. Petrik, G. Hárs:
Spectroellipsometric and ion beam analytical investigation of ultrananocrystalline diamond layers, 5th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, Albany, NY USA, 23-28 May, 2010
M. Koós, S. Tóth, P. Csíkvári, G.Y. Hárs, M. Veres
Luminescence features of nanocrystalline diamond films, 21st European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides, Budapest, Hungary, 5-9 September, 2010
P. Csikvari, A. Somogyi, M. Veres, Gy. Hárs, A. Tóth:
Investigation of the combined effect of argon addition and substrate bias on the growth of ultrananocrystalline diamond layers, Diamond & Related Materials, No.:18, p.1459–1465, 2009
P. Csikvari, P. Fürjes, Cs. Dücső, I. Barsony:
Micro-hotplates for thermal characterisation of structural materials of MEMS, Microelectronics Journal, No.:40, p.1393– 1397, 2009