Gyémántréteg növesztés

Felületfizika laboratóriumunkban a kilencvenes évek közepétől foglalkozunk gyémánt fázisú vékonyrétegek CVD-vel (Kémia Gőzfázisú Leválasztás) történő szintetizálásának alap- és alkalmazott kutatási területeivel, mely munkánk során az alapkutatási területet illetően egyedülálló in-situ kísérleteket végeztünk a nukleáció és növekedés fázisának felderítésében, valamint a mikro-nano-ultrananokristályos gyémántfázisok kialakulásának vizsgálatában. Az alkalmazott kutatási területeket illetően számos MEMS-, szenzorikai-, ill. 3D bevonatolási alkalmazást jártunk körül: szelektív területi leválasztás, passziváló bevonat nyomásmérő és áramlásmérő mikro gázszenzorokon, mikroturbina struktúra gyémántbevonata, SRP-tűk passzív és aktív gyémántbevonata, nagyméretű 3D-s tárgy (bondoló-tű) gyémántréteggel történő bevonása. 

                                                          Mikrohullámú CVD-berendezés

 

                            Passziváló gyémántbevonat SRP tűkön

 

                               Litografált nanogyémánt bevonat mikro fűtőtesteken (MEMS)

 

                                                    Öntartó gyémánthidak MEMS eszközben

 

                           Ultrananokristályos gyémánt bevonat mikroturbina házon (MEMS)

 

                                   Ultrananokristályos gyémánt bevonat mikroturbina rotorján (MEMS)

Kutatási terület: 
Felületfizikai kutatások